固体隙法布里-珀罗干涉仪成像特性仿真研究

2024-06-22 40 1.38M 0

  摘要:法布里-珀罗(F-P)干涉仪多采用气体隙F-P腔结构,常受腔镜调节、稳定性、体积等因素的限制,为了解决上述问题,利用固体隙F-P腔结构进行了改进。基于多光束干涉理论对固体隙F-P干涉仪开展仿真研究,对各级次干涉条纹峰值位置和半峰全宽位置进行了求解,分析了固体隙F-P腔的腔长、反射率和介质折射率3个因素对固体隙F-P干涉仪的成像质量影响,并根据需求加工了一块16 mm厚的固体隙F-P腔样品。结果表明,1级条纹峰值位置偏差优于5个像素点,其他级次条纹偏差均优于2个像素点,两者吻合性较好。该工作初步验证了固体隙结构在干涉仪成像中的适用性和可扩展性,完成了固体隙F-P干涉仪的基础理论探索,并为固体隙F-P干涉仪的相关研发工作提供了参考。

  文章目录

  0引 言

  1 理论与系统

  1.1 多光束干涉理论

  1.2 固体隙F-P干涉仪仿真模拟系统

  2 固体隙F-P干涉仪成像影响因素

  2.1 成像质量判定依据

  2.2 成像质量影响因素理论分析

  3固体隙F-P干涉仪仿真及分析

  3.1 腔长的影响

  3.2 腔镜反射率的影响

  3.3固体隙F-P腔介质的影响

  3.4 固体隙F-P腔样品检测与仿真结果比较

  4结 论



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